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产品名称：准分子激光气体（Excimer Laser Gases)

其他名称：氟化ya激光气体（193nm）；氟化ke激光气体（248nm）；氯化氙激光气体（308nm）

工业技术的升级转型需要平衡日益增长的性能需求与加工速度及制造成本之间的矛盾。准分子激光的诞生，准分子预混气价格，以其高光子能量所称著，太原准分子预混气，在对突破材料限制需求越来越迫切的时代，准分子激光器再次站在了尖端工业激光解决方案的前沿。作为当今较有效、较可靠的脉冲紫外激光技术的代表，准分子激光器有效地1推进了诸如半导体、AMOLED平板显示、薄膜、硅底板加工、有机金属沉淀、高温超导、刻蚀、材料研究、汽车制造、生物医1疗、光纤、钻石打标设备及可替代能源等多种成长型工业中的技术革新。

在准分子激光器全球的医1疗、半导体、光纤、平板显示、材料研究等高1端行业得到广泛的应用，但作为专业的准分子激光气体的重要厂商，我们同时也发现在准分子激光器的使用上，还存在着一些隐忧，笔者想通过这篇文章，以引起相关操作人员的重视。

准分子激光气体的主要成分：

氟化ya（ArF)  193 nm ：F2、Ar、He、Ne；

氟化ke（KrF)  248 nm ：F2、Ar、He、Ne；

氯化氙（XeCl）308 nm ：HCl、H2、Xe、Ne

氟化氙（XeF） 351 nm：F2、Xe、He、Ne

显而易见，准分子激光气体成份中，Ar、He、Ne、Kr、Xe都是无色、无味、无毒、不可燃的惰性稀有气体，除非大量释放到密闭空间会引起窒息外，对人体的危害是有限的，排除惰性稀有气体的危害主要的做法还是通风，增强室内空气的对流。

使用准分子激光技术所进行的工业加工任务各不相同，这就促使了准分子激光气体在准分子激光技术产品具有更广的输出特性。本质上，所有的应用都要求具有高可靠性，激光寿命更长，运转成本更低。在三方面主要应用的促进下，专业准分子预混气公司，激光器制造商已经取得了大量重要的技术进步。新一代的准分子激光器维护间隔时间更长，自动调节能力更先进，所需支的拥有成本也更低。

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